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      WEH®涂層 | 真空系統的運維成本居高不下?嘗試從零部件涂層下手

      更新時間:2025-05-26      點擊次數:251

      WEH®涂層 | 真空系統的運維成本居高不下?嘗試從零部件涂層下手

      WEH®涂層 | 真空系統的運維成本居高不下?嘗試從零部件涂層下手


      近日,上海日揚WEH®涂層工作室正式投產,從研發、生產、測試、涂裝到售后全流程將在上海進行,歡迎各位工程師、學者前來參觀。

      【涂層實驗室】

      “WEH®涂裝"是一種先進的納米涂層處理工藝,現已成功應用于薄膜沉積干刻蝕制程,是一種在真空環境下的高科技表面處理技術。該技術可以在材料表面上形成一層均勻、致密、具有特殊功能的涂層,減少工藝殘留物的粘附,提高材料的抗腐蝕性和使用壽命。


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      該涂層有著良好的疏水性、耐溫性、接著性、抗腐蝕性以及高硬度、低粗糙度的優點,降低設備與管道particle堵塞風險。


      WEH®涂層廣泛用于半導體、太陽能電池、電子元器件、顯示器、等產品的制造過程中,尤其是真空系統的設備以及零部件中,應用范圍非常廣泛。

      【WEH®涂層特點】

      WEH®涂層經市場驗證可以有效保護部分制程特別是例如AI-Pad、ALD和MOCVD制程中所需的真空設備例如真空泵、腔體、閥門與管道,這些設備與零件有著非常高的精度和技術要求,一般來說價值不菲,而后端工藝殘留物的堆積導致設備要停機維護,這意味著它們的維護周期對產線稼動率和生產效益的影響非常大。WEH®涂層涂裝可顯著緩解零部件以及設備的粉塵堵塞難題。

      WEH®涂層 | 真空系統的運維成本居高不下?嘗試從零部件涂層下手

      【應用案例】

      WEH®涂層 | 真空系統的運維成本居高不下?嘗試從零部件涂層下手


      日揚科技提供真空系統領域的整合服務,包括真空閥、腔體、真空零配件以及后端尾氣處理設備Scrubber和特殊真空納米涂層材料WEH®,致力于幫助客戶解決所有真空系統難題,實現各階段的降本增效,做客戶真正有價值的伙伴。  





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